蘭格智能泵助力“中國(guó)芯”制造
蘭格智能泵助力“中國(guó)芯”制造簡(jiǎn)介:
中國(guó)是全球最大的半導(dǎo)體產(chǎn)品消費(fèi)國(guó)家,但近90%的芯片需求仍仰賴(lài)進(jìn)口集成電路。有分析稱(chēng),“中國(guó)芯”只是時(shí)間問(wèn)題,中國(guó)政府已發(fā)布了促進(jìn)芯片產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略,近年來(lái)美國(guó)的技術(shù)遏制很可能使得中國(guó)芯片追趕速度會(huì)更快。
芯片制造涉及到哪些關(guān)鍵工藝?
芯片生產(chǎn)是一個(gè)非常復(fù)雜的點(diǎn)砂成金的過(guò)程——從砂子到晶圓再到芯片。
晶片先從砂石里層層提煉出來(lái),中間涉及有拉晶、切割的工藝。然后在做好的晶圓上制作電路及電子元件,這也是是芯片制造中最關(guān)鍵的環(huán)節(jié),主要包含鍍膜、光刻、顯影、刻蝕、離子注入等工藝,再經(jīng)過(guò)百道復(fù)雜的工藝和幾個(gè)月的加工,才能在在指甲蓋大小的空間中集成數(shù)公里長(zhǎng)的導(dǎo)線(xiàn)和數(shù)以?xún)|計(jì)的晶體管器件。而封裝與測(cè)試業(yè)務(wù)屬于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的后端行業(yè)。
蘭格精密泵對(duì)芯片制造可提供什么支持?
蘭格精密泵對(duì)芯片制造可提供什么支持?
蘭格精密泵作為精密流體傳輸行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者,一直致力于提供性能優(yōu)越的產(chǎn)品與解決方案。針對(duì)芯片制造中的關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)- 芯片鍍膜、顯影和蝕刻,蘭格可提供精密的產(chǎn)品組合,輸送重要的工藝化學(xué)品。
◆ 案例:蘭格智能泵在芯片鍍膜上的應(yīng)用
客戶(hù)要求
· 泵送介質(zhì):酸性試劑或者堿性試劑
· 流量:幾十毫升/分鐘
· 流量精度:±2%
· 泵送液量范圍:幾十毫升至幾百毫升(與鍍膜厚度有關(guān))
· 鍍膜均勻性好,膜層致密
· 工藝流程:蠕動(dòng)泵泵送酸堿溶液,用于調(diào)節(jié)酸堿平衡度,然后將調(diào)節(jié)后的試劑泵送至噴頭,試劑被霧化后均勻噴灑至芯片表面進(jìn)行鍍膜,鍍膜的厚度決定噴出的液量
客戶(hù)要求
· 泵送介質(zhì):酸性試劑或者堿性試劑
· 流量:幾十毫升/分鐘
· 流量精度:±2%
· 泵送液量范圍:幾十毫升至幾百毫升(與鍍膜厚度有關(guān))
· 鍍膜均勻性好,膜層致密
· 工藝流程:蠕動(dòng)泵泵送酸堿溶液,用于調(diào)節(jié)酸堿平衡度,然后將調(diào)節(jié)后的試劑泵送至噴頭,試劑被霧化后均勻噴灑至芯片表面進(jìn)行鍍膜,鍍膜的厚度決定噴出的液量
蘭格方案
L100-1F+YZ1515x-A+25# Pharmed管
蘭格智能泵產(chǎn)品組合的優(yōu)勢(shì)
· 智能型蠕動(dòng)泵L100-1F采用7寸工業(yè)觸摸屏,提供圖形化界面,參數(shù)設(shè)置及操控都更加簡(jiǎn)單方便。便于客戶(hù)進(jìn)行參數(shù)設(shè)置及流量校準(zhǔn),以更高效的滿(mǎn)足高精度流量傳輸;
· 智能型蠕動(dòng)泵L100-1F具有參數(shù)方案保存功能,可根據(jù)不同的芯片鍍膜厚度要求,將工作參數(shù)保存為不同的方案。每次根據(jù)實(shí)際工藝需要直接調(diào)用工作參數(shù),進(jìn)一步幫助客戶(hù)提高工作效率;
· 智能型蠕動(dòng)泵L100-1F具有編程功能,客戶(hù)可根據(jù)實(shí)際工藝需要,實(shí)現(xiàn)均勻分配、預(yù)約啟動(dòng)、工作過(guò)程中有計(jì)劃的反向運(yùn)行、流量隨著時(shí)間發(fā)生周期性變化等功能;
· 蠕動(dòng)泵在傳輸流體時(shí),流體僅與軟管內(nèi)壁接觸,而PharmedBPT材質(zhì)的軟管具有壽命長(zhǎng)、化學(xué)耐受性強(qiáng)的特點(diǎn),可延長(zhǎng)軟管的使用壽命,減少停機(jī)時(shí)間,降低維護(hù)成本;
· 智能型蠕動(dòng)泵L100-1F具有觸摸屏、腳踏開(kāi)關(guān)、模擬量信號(hào)、通信等多種控制方式,結(jié)合多種接口(USB,RJ11,DB9等),便于實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)集成。